TGV 玻璃基板全自动裂片线，集成视觉定位、应力可控裂片、清洁、检测工位一体化，裂片过程保护通孔结构，减少崩边、微裂纹，适配 6–18 英寸硼硅 TGV 基板，用于 2.5D/3D 先进封装、MEMS、光通信、AR 光学衬底量产，可对接前道切割、后道清洗产线
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