产品介绍
精密划片机晶圆切割机YRQWD801M

一.机型特点:

1.结构紧凑、占地面积小、噪音小;
2.工业化一体机,触摸屏操作,操作方便;
3.Y 向采用光栅尺闭环控制,定位精度高;
4.配备环形光源和同轴光源、可观测不同材质的工件;
5.安全保护功能齐全;
6.使用进口主轴,提高加工品质;
7.具备在线测高功能(NCS)提升设备自动化程度;
8.具备在线刀片磨刀功能,保证产品切割品质;
9.具备实时损检测功能(BBD),保证产品切割品质。

二.设备介绍:

  • 该设备适合加工的产品有硅晶圆、塑封件(QFN、BGA 等)、PCB 板、陶瓷基板(氧化铝、氧化锆等)、氧化物陶瓷(热敏、压敏、光敏电阻)、玻璃、石英、铌酸锂、钽酸锂、磁性材料等。
  • 主要应用领域:电子元器件、集成电路(IC)、发光二级管(LED)、太阳能电池、光学器件、光纤器件、电子陶瓷等行业的精密切割。

三.技术参数:

序号
项目
指标参数
1
加工尺寸
Φ210mm/Φ150mm(8 寸/6 寸)
2
进口主轴
转速:10000-60000rpm
功率:1.8KW
3
X 轴

划切行程:Max220mm
驱动方式:伺服电机
分辨率:0.001mm
划切速度:0.1-1000mm/s
4
Y 轴

划切行程:Max220mm
驱动方式:伺服电机+光栅尺全闭环
重复定位精度: 0.002/5mm
分辨率:0.0005mm
累积误差:0.005/220mm
划切速度:0.1-300mm/s
5
Z 轴

有效行程/刀盘尺寸:Max14.7mm/φ58mm (切深≦4mm)
驱动方式:伺服电机
分辨率:0.001mm
重复定位精度:0.001mm
刀盘尺寸:Φ47.4mm~φ54mm
刀片尺寸:Maxφ58mm
最大速度:90mm/s
6
θ轴

转角范围:Max380°
驱动方式:DD 直驱电机
重复定位精度: 3″
分辨率:0.0002°
7
对准系统

照明光源:同轴+环形
放大倍率:7.5X
可观测图像大小:0.0005mm
8
设备重量
500 kg±5%
9
设备尺寸
约 1030mm*900mm*1750mm
10
设备功率
4KW

四.基本配置:

序号
货物名称
品牌
数量
1
X 轴导轨
THK(日本)
1 对
2
Y 轴导轨
THK(日本)
1 对
3
Z 轴导轨
THK(日本)
1 对
4
X 轴丝杠
NSK(日本)
1 根
5
Y 轴丝杠
NSK (日本)
1 根
6
Z 轴丝杠
NSK (日本)
1 根
7
DD 马达
NSK (日本)
1 套
8
X 轴电机
松下(日本)
1 套
9
Y 轴电机
松下(日本)
1 套
10
Z 轴电机
东方(日本)
1 套
11
光栅尺
雷尼绍(英国)
1 套
12
气动元件
亚泰克(台湾)
1 套
13
高精度数字式压力开关
亚泰克(台湾)
1 套
14
主轴
RPS(韩国)
1 套

五.功能配置:

1.测高回路检测报警功能;
2.断点续划功能;
3.修刀盘功能;
4.预划切功能;
5.自动对焦功能;
6.非接触测高功能(NCS);
7.在线磨刀功能;
8.刀损检测功能;
9.可完成矩形和圆形工件切割方式;
10.自动切割模式和半自动切割模式;
11.单向切割模式和双向切割模式;
12.工作过程中可任意时机暂停检查;
13.中文操作界面,可存储多个加工文件;
14.全程实时微量误差补偿;
15.气压、水压不足报警保护;
16.可完成复杂工件的工艺编程加工;
17.具备自动图像识别功能。

六.随机配件:

1.装刀工具、随机工具各 1 套;
2.刀盘 2 个; (软刀,硬刀盘各 1 个)
3.吸盘 2 块;(6/8 英寸标准陶瓷吸盘各 1 块)
4.贴片环 3 个;
5.鼠标键盘 1 套(调试用)。

七.使用环境:

环境温度
机器应安装在 25°摄氏度的环境中。最好是恒温无尘车间。
电源
220V 单相 4KW
压缩空气
使用过滤度在 0.01um/99.5%以上的压缩空气。冷干机除湿,空气压力
0.6MPa-0.8MPa,主轴耗气量 80L/min,整机耗气量 190L/min。
切割水
切割水的水温控制在室温±2°C,压力 0.2-0.4MPa,可采用自来水,废水
处理后直接排放。耗水量 2L/min。
冷却水
冷却水(主轴冷却)采用纯水机循环供水,水温控制在室温±2°C,压力
0.2-0.4MPa。
周围环境
设备避免安装在鼓风机、通风口、产生高温和油雾的设备旁边。

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